论文名称： 微机电系统中的矩形通道内微气泡控制生长
作者： 董涛#，杨朝初*，毕勤成等.
来源出版物： 化工学报
年卷期页： 2007,58(1):54-60　
收录类型： EI
论文简介： 采用微机电系统(MEMS)硅加工工艺，设计、加工出了6种不同规格的实验用微气泡控制生长MEMS器件;构建了MEMS器件中微气泡控制生长实验系统并完成了实验，讨论了热负荷、微加热元宽度、微通道截面参数、工质流速及物性参数等对微气泡生长的影响。结果表明:同等实验条件下，加热电压幅值越高，微气泡生长速率越快;加热脉冲宽度仅对微气泡形成后的进一步生长有影响;加热条件相同的前提下，微加热元宽度越大，气泡成核所需的时间越短、微气泡生长速率越快;微通道宽度一定且高宽比大于1的条件下，高宽比越小，后期微气泡生长速率越慢;
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